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上海翻译公司完成“真空金属沉积系统”操作说明中文翻译
发布时间：2020-01-17 09:16 点击：
上海翻译公司完成“真空金属沉积系统”操作说明中文翻译客户：项目编号：文档编号：日期：West Technology Systems LimitedVMD900DL用于潜在指纹显现的真空金属沉积系统操作说明VMD900DL说明手册 第2页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited目录1. 健康和安全注意事项2. 说明3. 技术数据4. 所需服务5. 安装6. 部件布局7. 操作8. 建议的维护要求9. 建议的备件清单VMD900DL说明手册 第3页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited1. 健康和安全注意事项警告！ 在使用本设备前，请阅读这些说明及所有相关的制造商说明手册。 本系统自动运行。系统真空泵和阀门可以运行，而无警告。 如果需断开压缩空气供应管道，应谨慎操作。 在进行任何维护前，隔离系统的电源供应 操作本系统时应特别谨慎 操作员在使用本系统前，应充分熟悉所有相关的操作和健康及安全程序 在本系统上进行清洗或维护前，请仔细阅读本手册。 当在本系统上进行清洗或维护时，始终穿戴建议的个人防护装备VMD900DL说明手册 第4页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited2. 说明VMD900DL真空金属沉积系统旨在用于真空镀膜指纹检测技术。该系统的设计主要用于软包装塑料的涂镀，如聚乙烯袋，同时可用于固体塑料、玻璃、枪支和许多其他无孔样品制成的部件的涂镀。该工艺将按照应用科学技术中心（CAST）开发的程序执行，并记录在指纹可视化手册2014中。总则本系统的设计符合所有英国标准，并使用新的CE认证的部件制造。该系统适合于警务室和法医实验室中的工作人员使用，只需最低限度的培训，并且所需维护工作量最少。部件、控件和设计均确保对操作员和其他人员健康和安全的危害最小化本系统的设计能够提供快速的抽真空时间，可轻松蒸发和进气，因此周期时间最小。腔室该系统在一次蒸发中，能够涂镀的软聚乙烯薄膜材料表面最大达到800mm×1214mm，且基底无需伸出到工件夹具之外。腔室是卧式圆柱型，内部直径为770mm，内部可用深度约为900mm。提供有用于腔室样品装卸的简单方法（参见下面的工件夹具规格）。腔室内装有一个直径200mm的通过孔径窗口，方便观察待涂镀的样品表面。该窗口提供清晰视界，斜向上观察到涂镀表面。VMD900DL说明手册 第5页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited腔室的设计使普通身高的操作员可以很容易地通过观察口进行观察，并容易观察腔室上部的内表面。提供四个低电压LED灯（每个至少为20瓦），每侧灯丝两个，分布在沿灯丝组件大约三分之一和三分之二的位置。操作员可以很容易地更换这些灯具。灯座的设计使得观察者可避免灯丝光直射，同时为待涂镀样品表面提供最佳的照明。在处理样品和显现标志期间，可以打开和关闭灯光操作员可以很容易地更换这些灯具。抽气孔开口处安装有金属格栅，以防止将如聚乙烯薄膜等材料吸入泵内，并防止对高真空阀门造成潜在损害。工件夹具提供装载待处理物品的简单方法。安装一个直径750mm的半圆柱形工件夹具（比腔室内半径约小25mm，并且比腔室的可用内部长度短50mm）。可通过小型10mm直径×10mm长的高功率Bromag磁铁，将薄聚乙烯薄膜牢固地连接至工件夹具。工件夹具为不锈钢磁性等级。具有耐弱碱或酸清洗性能。工件夹具安装在支撑导轨的系统上，使其可完全从腔室收回，锁定在处于45、90和180度位置的收回位置。工件夹具的收回和旋转操作确保快速可靠和安全，因此工件夹具的设计可以消除两个支持导轨和锁定系统独立运行的可能性。为最大程度保证操作员的安全，采用摩擦停止和机械停止两种方式。注意：当旋转工件夹具系统时应始终注意，并且操作员应确保不安装不均衡负荷至工件夹具。VMD900DL说明手册 第6页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited工件夹具在灯丝上方也有三排直径为3至5mm的平行小孔，以便大尺寸的展示件可以连接至工件夹具上进行加工。特别注意事项该系统能够处理典型量的水蒸气和其他污染物，例如，样品生成的烃油和有机化合物。同时可以处理由于锌的蒸发而造成的其他重大污染源。注意：当清洗腔室设备时，应使用防尘口面罩、手套和安全眼镜。泵送系统供应的泵送组在本应用中已得到很好的证明，非常强大和可靠，具有高泵送速度/性能，并高度耐受本工艺中发现的污染物。粗抽泵包括Edwards E2M80（旋转泵）/Edwards EH500（机械增压器）的组合，具有在大气压力下约80m3hr-1的泵送速度，以及在10-1毫巴条件下400 m3hr-1的泵送速度。该E2M80旋转泵装有一个MF100油雾过滤器，以确保通过泵排气管的油雾排放达至最小。使用ISO100背压/粗抽压管，以确保腔室处的最佳泵送速度，不会由于导电限制而造成重大损失。提供Varian VHS-10水冷式扩散泵（5300 ls-1），并配有气动高真空闸阀。腔室的有效泵送速度为3750 l s-1。扩散泵注满硅704流体。扩散泵将承受高达25℃的冷却水入口温度，并装有热敏弹簧开关和水流开关，该开关连接到PLC控制系统，以进行报警并提供自动故障安全状态检测。泵送性能和系统规范Edwards E2M80（旋转泵）/Edwards EH500（机械增压器）和Varian VHS-10高通量扩散泵组合，确保实现非常快速的抽气时间。在不运行“指形冷冻器”的情况下，在金或银工艺压力条件下（1x10-5毫巴）的空载、干燥室排气时间通常是6-7分钟。VMD900DL说明手册 第7页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited在正常工作参数条件下，对于训练有素的操作员，可以在不到12分钟的时间完成一次过程。灯丝支架和电源蒸发丝沿腔室的前部至后部直线分散布置，距离腔室的底部约100mm。在金和锌的蒸发过程中，灯丝相对于待涂镀表面的位置应谨慎设计，应尽可能使表面均匀涂镀。有三个独立可选择的蒸发源组。灯丝设计应使得特定源的位置具有灵活性。源安装在沿腔室长度约1/4、1/2、3/4的距离处。采用灯丝夹固定到源母线的设计，确保灯丝更换时不会导致意外的安装错位。灯丝组件可直接拆除和拆卸，以方便清洁，并采用坚固耐用结构。绝缘体的设计最大限度地减少发生锌沉积层“桥接”的潜在问题。电源和控制系统非常适合于提高用于蒸镀金的一对灯丝温度达至白热状态，以及提升两用于镀锌的蒸发皿温度至炽热状态。仪表与控制系统控制系统直观可用，在腔室前从操作员的位置，可以很容易地使用所有经常使用的控件，同时可通过腔室观察口进行观察。三菱FX系列可编程逻辑控制器（PLC）和E1101触摸屏字母数字显示器（HMI）。控制系统提供真空系统的简单半自动操作。采用单按钮操作，PLC控制真空泵的运行和腔室从大气压力至工艺准备压力的排气。VMD900DL说明手册 第8页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems LimitedHMI显示器具有一个简单的系统模拟，并安装在控制单元内，以允许操作员易于识别系统状态。所有控件均清楚地标记。控制系统通过“SOURCE”提供蒸发控制。PLC控制腔室压力处于以下参数内：金 超过2×10-4毫巴锌 3×10-4和5×10-4毫巴之间真空计真空测量包括两个ATC-M主动热电偶测头（一个在再生管线中，另一个在腔室上）以及一个位于腔室上的AIM-S主动倒置磁控测头。在最佳压力（由腔室ATC-M测量）条件下时，AIM-S主动倒置磁控测头自动开启和关闭，以防止其在不适当高压条件下工作。即使对于技术并不熟练的操作员，AIM-S头也非常容易拆卸，且易于清洗，并且不会对校准带来不利影响。所有压力显示在人机界面显示面板上。具体数据显示如下：背压-显示背压管线中的压力。粗抽压力-显示抽空的最初“粗抽”阶段腔室中的压力。高真空压力-显示抽空的“高真空”阶段腔室中的压力。指形冷冻器（可选额外附件）真空室可配备具有Polycold PFC552低温制冷系统的低温制冷指形冷冻器。制冷系统连接到一个最小面积为250 cm2的“指形冷冻器”。指形冷冻器为圆形截面和自立式。本系统可运行-120℃以下温度条件下注意：如果处理具有高水分含量的展示件，强烈建议此选项。同样，对于一般用途，指形冷冻器将显著缩短腔室抽空时间。VMD900DL说明手册 第9页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited冰指的位置应使得可无阻碍地通过擦拭全长度而进行定期清洗，而无需移除任何辅助部件。注意：腔室门打开时，指形冷冻器温度仍然可以维持在-100℃。需注意防止裸露皮肤的冻伤。健康和安全其设计和结构均需确保非技术的培训人员的安全操作。使用机器相关的任何潜在健康危害已加以记录，并完全符合英国的“工作健康与安全法”以及“控制危害健康物质条例”。电气负荷VMD900DL系统和冷水机组需要415V+（中线）3相，50Hz，63安培的电力供应。目前可行的是将负荷均匀分布至各相。供水对于VHS-10扩散泵，最大可接受的入口温度为25℃时的冷却水流量要求为3.0 l min-1。可以是自来水或来自自由站立的冷水机组。对于Polycold PFC552HC系统（若购买），最大可接受的入口温度为13℃时的冷却水流量要求为4.3 l min-1。可以是自来水或来自自由站立的冷水机组。气压供应压缩空气的要求为100 磅平方英寸，几乎为零流量。可以是工厂空气供应或来自自由站立的气动压缩机。排气E2M80泵的排气通过Edwards MF100油雾过滤器排放到大气中注意：建议排气通过管道排放至排烟点或通过外墙。排气管线必须始终畅通无阻。VMD900DL说明手册 第10页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited布置“独立式”真空金属沉积系统通常布置在实验室中，所有泵及配件安装到一个单独的服务通道或附属建筑物，以帮助减少输出至室内和工作环境的噪音和热量。假设泵和任何辅助设备都位于外部，在实验室内系统的深度不超过3005mm，并且带用于装载的加长工件夹具，那么系统将不能大于1200mm，包括控制面板。强烈建议将E2M80/EH500真空泵机组放置在一个与主系统分隔的房间内。这是因为两者均产生热负荷，这对于实验室而言是不可接受的。由于这一原因，放置这些装置的房间应具有足够的自然或强制通风条件。E2M80真空泵的噪声级为70 dB（A），当放置泵时同时应该考虑该因素。可选附件闭环冷却水机组应位于基座上，处于一个适当冷却和通风良好的工作房或通道，或者可将它放置在建筑物外部。建议Polycold 552HC系统及压缩机也应放置在一个适当冷却和通风良好的工作房或通道内。楼板负荷近似的楼板负荷：主系统（腔室和控件） 1500Kg，占地为970mm×860mm真空泵组（E2M80/EH500） 220Kg，占地为400mm×250mm可选附件Polycold PFC552HC 408 Kg，占地为953 mm x 660 mm闭环冷却水机组* 113 Kg，占地为652 mm x 575 mm闭环冷却水机组* 188 Kg，占地为652 mm x 575 mm闭环冷却水机组* 316 Kg，占地为1310 mm x 660 mm气动压缩机 50 Kg，占地为400 mm x 750 mm*没有位于内部的Polycold PFC552和冷水机组的系统**没有位于外部的Polycold PFC552和冷水机组的系统***具有位于内部的Polycold PFC552和冷水机组的系统VMD900DL说明手册 第11页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited建筑工程应在主系统和相关设备选定位置的2米内提供上述的所有必需服务。设备文件该系统将提供：1. 提供一份简单副本，附于用户指南。2. 一份全面操作手册的副本，详细说明操作、保养和维护的所有方面。3. 技术数据旋转泵： Edwards E2M80(80 m3hr-1)机械增压器： Edwards EH500(500 m3hr-1)扩散泵： Varian VHS-10噪音水平： 小于75 dB尺寸： 1800mm宽x1920mm高×2200mm深度表面处理： 浅灰色的人造革4. 所需服务电气： 414v 3相，50Hz中线+接地线电流额定： 最大63安培气动空气供应： 80-100 PSI水冷却（VHS-10）： 在最高温度25℃时流量为3 L min-1。水冷却（PFC552HC）： 在最高温度13℃时流量为4.3 L min-1。旋转泵的排气： 合适的提取点到大气5. 安装该系统将由West Technology Systems Limited工程师完全安装至已准备就绪的现场。使用底座上提供的准平顶具调平装置，将系统布置在一个干净的位置。按照说明手册，连接所有服务。重要提示：未能正确重新连接所有服务对于系统、系统组件及操作员将带来危险。VMD900DL说明手册 第12页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited重要提示：检查所有电机的方向，确保三相连接正确。重要提示：重新安装后的连接或重连操作只能由合格的人员进行。有关任何技术问题，请咨询West Technology Systems Limited。6. 总体布局“VMD 900DL”的设计符合人体工程学，适合大多数实验室状况。所有电源服务位于机器后方的固定面板上，包括水、气、电和真空泵排气线。其他面板可拆卸，允许方便维护所需的地方。该系统的设计考虑大多数操作员对于通过PLC控制大多数操作的真空系统的了解甚少或有限。操作员面板具有系统的所有控制，启动和关闭、腔室抽空和通风以及连续沉积。真空压力调节（对于锌层）和源蒸发电流控制位于HMI附近。源变压器位于可拆卸面板背后主外壳的右手侧。VMD900DL说明手册 第13页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited可编程逻辑控制器、所有接触器和控制线路位于可拆卸面板背后主外壳的左手侧。7. 操作启动系统注意：操作本设备前，请阅读提供的所有说明书。注意：当旋转工件夹具系统时应始终注意，并且操作员应确保不安装不均衡负荷至工件夹具。首先检查“紧急停止”按钮不可操作，通过逆时针转动释放它。接着打开墙上的电源“ON”。然后通过操作位于VMD900DL左手侧面板上的开关打开电源。HMI将开始测试例程，约15秒后会显示 “WEST TECHNOLOGY欢迎屏幕”。按屏幕上的任何地方，操作员进入“泵操作屏幕”按下“信息”按钮，操作员将进入“信息屏幕”（参见后文）。VMD900DL说明手册 第14页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited为启动系统，操作员按下“开始系统”按钮。注意：如果“安全复位”按钮是红色的，则系统必须休息。为了完成此操作，操作员按下“安全复位”按钮。在短暂的延迟后，这个按钮更改为“安全健康”。一旦出现“安全健康”的说明，操作员可以通过按下“启动系统”按钮启动系统。该按钮将转化为显示“停止系统。VMD900DL说明手册 第15页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited该系统需要30分钟才能启动，并且时间以倒数形式在“准备进入”箱中显示。控制屏幕按下系统模拟上的“控制”按钮，操作员进入“控制屏幕”。这是系统的主控制屏幕。“控制屏幕”是操作员执行连续沉积过程的地方。按下“抽空”按钮，启动腔室的抽空。由于该按钮是按下的，按钮上的说明暂时变为“抽气”，然后又返回显示“抽空”。在屏幕上显示腔室压力。按下“关闭灯光”按钮，打开腔室LED灯，以照亮真空室内部。当按下时，“关闭灯光”图标变为“打开灯光”。再次按下该按钮，关闭LED灯（图标变回为“关闭灯光”）。如需对真空室通风，操作员只需按下“通风”按钮即可。一旦按下，腔室自动通风，并返回至大气压力。按下“菜单”按钮，操作员进入“菜单屏幕”。按下“灯箱”，HMI屏幕将变为一个白色的灯箱屏幕。可用于快速检查工艺展示件，以评估显现的指纹。按下“菜单”按钮，操作员进入“菜单屏幕”。按下“密封”按钮，将密封腔室，即高真空阀门将关闭。此功能用于将展示件整夜维持在高真空条件下。VMD900DL说明手册 第16页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited金/锌蒸发一旦腔室真空压力达到高真空压力高于1×10-4毫巴，蒸发源将变得活跃。为开始金沉积过程，按下“关闭源”按钮。Source Activation Button 源激活按钮经短暂延时后，右侧“关闭源”图标变为“源1”，而左侧“关闭源”图标变为“镀金层1”。此时，操作员可以在HMI屏幕下侧位置慢慢调整，并增加蒸发电流，直至蒸发皿发出暗红色，并且金丝融化和“浸湿”蒸发皿。VMD900DL说明手册 第17页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems LimitedCurrent Potentiometer 电流电位计注意：如果蒸发电流上升太快，那么金丝可能从蒸发皿中跳出。当黄金“浸湿”蒸发皿时，操作员可以通过电流电位计慢慢增加蒸发电流直到蒸发皿发出白热，黄金将开始蒸发。蒸发时间不应超过3-5秒。当蒸发结束时，操作员使用电流电位计慢慢调节蒸发电流至零。按下“源1”按钮，然后选择第2组金蒸发皿（如果已安装）。在正常工作下，不使用该蒸发源，但可能存在需要额外黄金蒸发的情况。另外该蒸发源可用于锌蒸发后需要进行银连续蒸发的工艺。当按下“源1”时，图标变为“源2” ，并且“金层1”图标变为“金层2”。然后重复黄金蒸发步骤。VMD900DL说明手册 第18页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited如果不需要黄金二次沉积，那么通过按下“源1”按钮两次，操作员进入“源3”，并且“金层1”图标变为“锌层”。系统将自动调整锌蒸发腔室的压力，通常需要几秒钟时间达到稳定，此时将显示图标“锌层”。在慢慢调节电流电位计前，建议操作员通过按下“打开灯光”按钮关闭腔室的灯。用于蒸发金的相同工艺也适用于蒸发锌，即操作员可以慢慢调整电流电位计，并增加蒸发电流直到蒸发皿发出暗红色，锌箔（或颗粒）源材料熔化并“浸湿”蒸发皿。此时，迅速按下“关闭灯光”按钮打开腔室的灯，并观察被加工展示件的表面。通过慢慢增加电流，锌将开始堆积至展示件表面，显现指纹。这将允许操作员观察和评估锌的沉积，以获得最佳的指纹图像。需要经验来判断沉积至样品材料的锌量，以沉积足够的锌产生指纹图像，但不会沉积过多锌而降低指纹图像的清晰度。注意：如果蒸发电流上升太快，那么金丝可能从蒸发皿中跳出。VMD900DL说明手册 第19页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited注意：如果锌沉积工艺的腔室压力太低，那么在屏幕上将不会显示“锌层”图标，同时显示图标“低压”。注意：如果锌沉积工艺的腔室压力太高，那么在屏幕上将不会显示“锌层”图标，同时显示图标“高压”。在这种情况下，不能蒸发锌直到已纠正压力条件。这通过小心逐步地调整位于腔室的右手侧的泄漏阀完成。VMD900DL说明手册 第20页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited锌蒸发结束时，按下“源3”按钮将关闭所有蒸发源。按下“通风”按钮，腔室返回到大气压力，可以移除被加工展示件的材料。一旦按下，图标在返回至“通风”前暂时变为“正在通风”。通风腔室需要大约2分钟。菜单屏幕该屏幕允许访问所有其他系统屏幕。控制屏幕-按下此按钮，操作员进入“控制屏幕”（参见上文）系统启动-按下此按钮，操作员进入“泵操作屏幕”（参见上文）。压力-按下此按钮，操作员进入“压力屏幕”（参见下文）。模拟-按下此按钮，操作员进入“系统模拟屏幕”（参见下文）。VMD900DL说明手册 第21页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited数据-按下此按钮，操作员进入“数据屏幕”（参见下文）。信息-按下此按钮，操作员进入“信息屏幕”（参见下文）。报警-按下此按钮，操作员进入“报警屏幕”（参见下文）中文/英文-按下此按钮，更改HMI屏幕中使用的语言，从英文变更为中文，或相反。压力屏幕该屏幕显示背压、粗抽压和高真空计压。系统模拟屏幕该屏幕提供有关系统运行状态的信息，例如上述例子中真空泵处于运行中，高真空阀和止回阀打开。图标“高真空”表明系统处于高真空。压力显示器正显示3.5×10-5毫巴。VMD900DL说明手册 第22页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited按下“关闭灯光”按钮，打开腔室LED灯，以照亮真空室内部。在工艺沉积期间，当加载金丝至蒸发皿和开始施加电流至锌蒸发皿时，这一步骤有用。按下“菜单”按钮，操作员进入“菜单屏幕”（参见下文）。按下“控制”按钮，操作员进入“控制屏幕”按下“外部”按钮，操作员进入“服务屏幕”。该屏幕显示冷水机组（如配备）和气动压缩机（如配备）的运行状态。同时提示操作员供水和空气供应是否在运行参数内。按下“内部”按钮，操作员返回至“系统模拟屏幕”。数据屏幕该屏幕显示有关所有关键运行的系统参数，包括背压、粗抽压和高真空计压。主要部件的运行状态（如旋转真空泵、机械增压泵等）和自动控制程序中使用的设定点系列。VMD900DL说明手册 第23页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited注意：可以改变设定点，但是在未与West Technology讨论前，强烈建议操作员不要更改任何设置点。信息屏幕该屏幕有许多按钮，允许操作员了解系统的更多信息：启动泵-说明当系统启动时真空泵的操作顺序。报警-按下此按钮，操作员进入“报警屏幕”（参见下文）压力-操作员进入“压力信息屏幕”（参见下文）。服务-操作员进入“服务信息屏幕”（参见下文）。趋势-操作员进入“压力趋势屏幕”（参见下文）。维护-操作员进入“维护屏幕”（参见下文）。定时器-操作员进入“定时器屏幕”（参见下文）。I/O列表-操作员进入“I/O列表屏幕”（参见下文）。VMD900DL说明手册 第24页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited压力信息屏幕该屏幕说明背压、粗抽压和高真空压表如何工作并显示真空压力。服务信息屏幕该屏幕给予有关West Technology的联系信息。有关服务支持合同的详情，请联系我们。趋势屏幕该屏幕显示粗抽和高真空压力趋势表。VMD900DL说明手册 第25页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited维护屏幕该屏幕给出系统的每周、每月、每3个月和年度维修计划。定时器屏幕该屏幕给出有关扩散高真空泵预热定时器（系统启动时激活）和扩散泵冷却定时器（系统关闭时激活）的信息。I/O列表屏幕VMD900DL说明手册 第26页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited该屏幕受密码保护，只能由授权的服务工程师访问。一旦访问，该屏幕允许工程师选择系统的手动控制和一系列其他功能。工艺周期装载样品为装载样品材料至腔室，操作员必须先释放门闩并打开门。注意：如果腔室已经在运行或处于“密封”状态，那么操作员必须按下“控制屏幕”上的“通风”按钮，使得腔室返回至大气压力。操作员然后从腔室撤回工件夹具（使用手柄）。当工件夹具处于完全伸出的位置，操作员拉动位于右手侧的小扣销，并慢慢倒转工件夹具。注意：必须拉出扣销，以充分旋转工件夹具至其设定位置。工件夹具具有一个三位式闩锁组件-正常位置、90度、45度和完全倒转。一旦工件夹具处于其所需位置，可以释放扣销，以锁定工件夹具的位置。确保样品材料是光滑的，使用小块高性能磁体将其连接至工件夹具。一旦连接，旋转工件夹具回到正常位置。注意：当旋转工件夹具系统时应始终注意，并且操作员应确保不安装不均衡负荷至工件夹具。最后操作员将工件夹具推回至腔室内，并关上门。腔室抽空为抽空腔室，操作员必须按下“控制屏幕”中的“抽空”按钮。事件的先后序列如下：1. 粗抽阀打开。VMD900DL说明手册 第27页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited2. 腔室内压力降低到预定水平（交叉压力）。3. 粗抽阀关闭。止回阀打开。4. 高真空阀打开。5. 腔室抽空至高真空压力沉积过程1. 操作员首先确保电流电位计设置为零（顺时针旋转到底）。2. 如果不是在“控制屏幕”中，操作员通过“系统模拟屏幕”或“菜单屏幕”选择该屏幕。3. 在“控制屏幕”中，操作员按下左侧“关闭源”按钮，该按钮的图标变为“源1”，右侧关闭源”下方图标变为“金层1”。4. 然后，操作员逆时针慢慢旋转电流电位计旋钮，直到获得所需蒸发度。（参见上述“控制屏幕”中的注释）。注意：黄金源的供电不要过快，因为会出现热冲击，而导致黄金从蒸发皿中跳出。缓慢向蒸发皿供电，直到黄金首次浸湿蒸发皿，然后增加供电，以实现完全蒸发。通过增加功率，黄金将完全蒸发，直到蒸发皿达到白热状态。注意：在黄金蒸发期间，最好关闭腔室灯。5. 一旦完成蒸发，操作员必须顺时针满旋电流电位计旋钮，以确保其关闭。6. 然后操作员按下“源1”一次选择进行二次金蒸发，或按下“源1”两次继续锌蒸发，而图标变为“源3”。将有短暂的停顿，同时系统自动调整腔室中的压力至约3×10-4毫巴。一旦锌沉积的真空压力在规定的范围内，右侧图标变为“锌层”。VMD900DL说明手册 第28页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited可通过位于RHS上真空腔室正下方的LV10K细针型阀，将锌蒸发压力调整至预定范围内。顺时针旋转阀门旋钮，增加真空压力（例如，从6.7×10-4至3.3×10-4毫巴），而逆时针旋转，则减小真空压力（例如，从3.3×10-4至6.7×10-4毫巴）。当蒸发锌蒸发皿时，建议开始时应关闭腔室灯。缓慢地供电，直至蒸发皿的两端开始发出暗红色，并且在增加功率开始蒸发前，允许短时间将锌浸泡在该水平。注意：当蒸发锌层时，建议打开腔室灯，这样可以观察到指纹的显现。在某些材料上很难观察指纹的显现。因此，建议固定一个小尺寸白色塑料试件至工件夹具，以帮助观察。7. 一旦完成蒸发，操作员必须顺时针满旋电流电位计旋钮，以确保其关闭。8. 完成锌蒸发后，建议操作员切换回“金层1”，并缓慢增加电流直至金蒸发皿发出白热。通过这一步骤将移除蒸发皿上的任何锌污染。9. 一旦完成蒸发，操作员必须顺时针满旋电流电位计旋钮，以确保其关闭。腔室通风为使腔室通风回到大气压力，操作员必须按下“控制屏幕”中的“通风”按钮。事件的先后序列如下：1. 高真空阀关闭。2. 短暂延时后，进气阀打开。VMD900DL说明手册 第29页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited3. 一旦腔室处于大气压力，进气阀关闭并且系统重启。腔室清洗注意：当清洗腔室设备时，应使用防尘口面罩、橡胶手套和安全眼镜。注意：WTSL建议在开始任何清洗前先关闭系统。注意：为确保不会积累大型沉积，腔室定期清洗非常必要。这将使日常维护更容易，并有助于保持系统的最佳性能。为协助清洗过程，腔室已安装可拆卸的衬垫，一旦从腔室移除，应使用合适的溶剂擦除干净。对于更顽固的沉积，我们建议使用轻百洁布擦拭。移除衬垫后，应清扫腔室，并特别注意母线周围，防止沉积的堆积而导致短路。注意：可以从West Technology订购备用衬垫套。LED灯表面也需要定期清洗。我们建议在灯上涂敷适当的真空润滑脂薄涂层，因此只需要使用适当溶剂清洗剂即可清洗。这将防止清洗期间灯具被划伤。VMD900DL说明手册 第30页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited8 建议的服务要求每周Ÿ 检查所有E2M80 和EH500真空泵的油视镜的油位。如有需要，进行补充。Ÿ 检查气动压缩机的油位（如果存在）。如有需要，进行补充。Ÿ 清洗腔室和O型环密封。每月Ÿ 清洗腔室和室内设备。每3月Ÿ 检查O型环门密封。每6月Ÿ 检查扩散泵流体的条件和水平。每12月Ÿ 小型服务E2M80泵Ÿ 更换EH500机械增压器中的油（如需要）。Ÿ 检查扩散泵流体。Ÿ 检查粗抽压、背压、进气和高真空阀。Ÿ 清洗和检查真空计。注意：当清洗腔室、室内设备、真空阀、真空计等，应使用呼吸防尘面罩、橡胶手套和安全眼镜。注意：必须按照制造商的说明清洗表。VMD900DL说明手册 第31页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited9 建议的备件和耗材VMD900备件 零件号ultragrade 20油，1升 WTS/11024015/1Lultragrade 20油，4升 WTS/11024013/4LDC704扩散泵油，1升 WTS/704/1LAIM-S-NW25主动倒置式磁控真空计头 WTS/14641000ATC-M-1/8"主动热电偶真空计头 WTS/35108000晶闸管熔丝16A WTS/THYFUSE备用熔丝组 WTS/熔丝工具箱 WTS/工具10 Bremag磁铁包 WTS/NB012B-MLED灯 WTS/MR16-3CW-XREP4-C腔室门密封 WTS/门封O型密封圈组 WTS/密封组VMD耗材（所有型号）蒸发皿 零件号黄金（10包） WTS/金/蒸发皿银（10包） WTS/银/蒸发皿锌（10包） WTS/银/蒸发皿蒸发源材料金丝1m WTS/金/1M银丝1m WTS/银/1M锌粒250g WTS/锌/250gVMD900DL说明手册 第32页Copyright ©West Technology Systems Limited 2014世联翻译-让世界自由沟通！专业的全球语言翻译供应商，上海翻译公司专业品牌。丝路沿线56种语言一站式翻译与技术解决方案，专业英语翻译、日语翻译等文档翻译、同传口译、视频翻译、出国外派服务，加速您的全球交付。 世联翻译公司在北京、上海、深圳等国际交往城市设有翻译基地，业务覆盖全国城市。每天有近百万字节的信息和贸易通过世联走向全球！积累了大量政商用户数据，翻译人才库数据，多语种语料库大数据。世联品牌和服务品质已得到政务防务和国际组织、跨国公司和大中型企业等近万用户的认可。
